安捷倫 9515106 泄漏閥
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安捷倫控制器 4UHV
摘要
安捷倫 9515106 泄漏閥是精密流體控制設(shè)備，采用全金屬結(jié)構(gòu)與鍍金不銹鋼膜片設(shè)計，密封性能且耐腐蝕性強。具備高精度泄漏率調(diào)節(jié)功能，重復性優(yōu)異，死體積小，支持 450℃烘烤處理。操作便捷、維護成本低，可適配超高真空至高壓工況，廣泛應(yīng)用于分析儀器、半導體、化工等領(lǐng)域。依托安捷倫品牌品質(zhì)保障，為嚴苛工藝提供穩(wěn)定可靠的流體控制解決方案。
產(chǎn)品介紹
特性
用于特殊閥應(yīng)用
范圍從大氣壓到低于 10-11 Torr (mbar)
具有手動和氣動型號
在靈敏度 1 x 10-10 std cc/s 的氦質(zhì)譜檢漏儀上未檢測到泄漏
最大流導 6 L/m
可烘烤至 450 °C
部件型號
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