HiPace 700 H渦輪分子真空泵
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HiPace 700 H渦輪分子真空泵
摘要
HiPace 700 H 渦輪分子真空泵：超高真空性能與效率的結(jié)合 HiPace 700 H 是 普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum） 推出的旗艦級 超高壓縮比渦輪分子泵，專為嚴(yán)苛的超高真空（UHV）環(huán)境設(shè)計，尤其擅長處理輕分子氣體（如氫氣、氦氣）。其革命性的技術(shù)突破與工業(yè)級可靠性，使其成為半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析儀器、科學(xué)研究等高要求領(lǐng)域的理想選擇。
產(chǎn)品介紹
HiPace 700 H渦輪分子真空泵
技術(shù)規(guī)格ISO
抽速
市場和應(yīng)用
分析及實驗室
高能物理,超高真空
半導(dǎo)體應(yīng)用
PVD檢驗與計量
金屬和高 K 蝕刻LPCVD / 擴散
光刻技術(shù)氧化物蝕刻剝離 / 灰化
ALDPECVDSi Poly etch
Load lock 和 傳輸輕沉積離子注入
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